半導体装置ディスク部品（耐熱鋼：SUH660）

半導体装置ディスク部品（耐熱鋼：SUH660）

ポイント

耐熱鋼（SUH660）を使用した半導体製造装置用ディスク部品です。
直径Φ5.5×長さ32mmの寸法に加工し、公差±0.015の高精度加工を実現しています。
高硬度材の精密加工技術により、SUH660を高い精度で加工しました。

この製品について

部品名
ディスク
材質
耐熱鋼　SUH660
寸法・精度
Φ5.5×32 公差±0.015
用途・産業
半導体装置
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